舟山EP级气路施工是高纯气体输送系统的核心工艺，专为半导体、生物制药等高精度领域设计，其核心在于控制污染、保障气体纯净度与系统密封性。以下是关键技术要点及规范

一、材料选择标准‌

‌管道材质‌

‌EP级不锈钢管（316L）‌：内壁电解抛光，粗糙度≤0.15μm（Ra值），减少颗粒吸附，适用99.999%以上高纯气体‌。

‌特殊气体适配‌：腐蚀性气体（如HCl、Cl₂）需哈氏合金或PTFE衬管；惰性气体可选BA级管（粗糙度≤0.4μm）‌。

‌关键组件‌

‌隔膜阀‌：采用PTFE或Viton密封，避免金属接触污染‌。

‌VCR接头‌：金属密封面配合高精度卡套，泄漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s‌。

二、施工工艺规范‌

‌洁净环境控制‌

预制/焊接需在‌万级（ISO 7）以上洁净间‌进行，操作人员着无尘服及防静电手套‌。

管口全程用‌高纯氮气/氩气（99.999%）‌吹扫保护，封盖前充氩压力≥0.15MPa‌。

‌焊接与检测‌

‌自动轨道氩弧焊（TIG）‌：充氩保护双面成型，避免氧化‌。

‌焊后处理‌：氦质谱检漏，保压24小时压降≤1%；氧化层用不锈钢刷清除‌。

‌管路布局要点‌

‌坡度设计‌：腐蚀性气体管道设1%-3%坡度，低点加排液阀‌。

‌安全间距‌：可燃气体（如H₂）与氧气管间距≥1.5m或物理隔离‌

三、安全与监控系统‌

‌泄漏防护‌

‌探测器布局‌：按气体密度安装（H₂在屋顶，Cl₂近地面），联动声光报警‌。

‌紧急切断阀（ESD）‌：与火灾报警联动，30秒内关断气源‌911。

‌系统维护‌

‌每周检漏‌：使用检漏液（如Snoop）检测接头，气泡速率＜1个/分钟‌。

‌静电防护‌：易燃气体管路全程防静电接地，电阻≤10Ω‌。

💎 ‌四、特殊场景应用‌

‌实验室气路‌：采用冗余环状管网替代树状结构，压差波动从±5%降至±1%‌。

‌特气系统‌：双套管设计（内管EP级，外管BA级），负压侦测泄漏‌。

注：EP级气路寿命可达15年以上，但需定期更换隔膜阀密封件（建议周期2年）并复核洁净度‌